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   Metrondie-SRG

晶圆级衍射光波导光学检测系统

   项目内容

信息详情

   系统功能： 

光栅衍射效率测量、光栅周期计量、光栅形貌量测、光栅取向测量

   光栅类型： 

支持一维光栅、二维光栅

   晶圆尺寸： 

4~12 inch

   测量模式： 

 -

   Scatterometry： 

入射 -70~70°，接收 -70~70°

   Littrow： 

-70~70°

   Reflection： 

0~70°

   项目内容

信息详情

   光栅衍射效率：

 -

   波段范围

200~800nm

   测量范围

0.1% @ 532nm

   重复性

<±1% @ 532nm

   光栅周期：

-

   波段范围

200~1000nm

   测量范围

≤±100pm

   重复性

<±10pm

   光栅形貌：

 -

   精度

±2% (typ.), ≤±1% (min)

   测试时间

<40s @ one Die (1point)

   光栅取向：

 -

   重复性

<3'

   样品台：

-

   调节维度

四维 (X, Y, Z, θ)

   调节精度

X: ±5μm; Y: ±5μm; Z: ±0.3μm; θ: ±3''

   设备尺寸：

1700 × 1000 × 2300 mm³

 光栅衍射效率测量

光栅周期计量

 光栅形貌量测

光栅取向测量

衍射效率是评价光栅性能的核心指标，需要系统具有同时测量角度和波长的能力。

高性能衍射光波导具有较为复杂的光栅形貌，对形貌无损快速的检测是晶圆批量制程中的核心诉求，需要系统具备多维度光学信号抓取能力并支持人工智能算法高效分析。

光波导中不同区域光栅的取向差异对成像至关重要，需要系统支持旋转角**调节。