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IDEAOPTICS复享 MetronLens 超构透镜光学检测系统
“光场 + 相位 + 远场”
**表征
简单易用
毫秒级相位检测
高空间分辨率
高精度 z轴扫描
多波长测试光源
毫秒级相位检测
MetronLens 基于“微型透镜检测系统及其检测方法”发明**和离轴外差干涉技术,在显微体系下实现了毫秒级相位分布检测,相位分辨率可达 50mrad;
高空间分辨率
采用优异光学设计,结合大NA(大于 0.75)高倍率的成像系统和高像素数探测器,确保大视场下空间分辨率可达 0.6μm;
高精度 z轴扫描
配有三轴全闭环超高精度电控位移台,能够轻松实现 0~22mm 行程的光场扫描,z轴扫描定位精度*小可达到 ±1μm;
多波长测试光源
系统内部*多可集成 457nm、532nm、660nm 三种连续激光光源,可满足多样化的波段测试需求,并支持其他光源外部扩展。
技术参数
技术参数
型号 |
信息详情 |
|
MetronLens: |
光场检测 + 远场检测 |
|
MetronLens-Phi: |
相位检测 + 光场检测 + 远场检测 |
Metronlens
项目内容 |
信息详情 |
|
测量模式: |
透射光场分布检测,透射远场分布检测 |
|
可测量光学参数: |
光场分布、焦距、数值孔径、PSF、MTF、相对聚焦效率、成像分辨率、远场分布 |
|
系统数值孔径: |
0.75 @ 40X |
|
视野范围: |
Φ0.5mm @ 40X,Φ4mm @ 5X |
|
空间分辨率: |
0.45μm @ 40X,2.35μm @ 5X |
|
z 轴扫描精度: |
±1μm (0~1mm 行程),±3μm (1~22mm 行程) |
|
焦距*大测量范围: |
5mm |
|
标配光源: |
532nm 光纤连续激光器 |
|
入射平行光发散角: |
0.2° |
|
光源拓展接口: |
1 个 FC/APC 接口 |
Metronlens-Phi
项目内容 |
信息详情 |
|
测量模式: |
透射相位分布检测,透射光场分布检测,透射远场分布检测 |
|
可测量光学参数: |
相位分布、波像差、泽尼克像差、光场分布、焦距、数值孔径、PSF、MTF、相对聚焦效率、成像分辨率、远场分布 |
|
系统数值孔径: |
0.75 @ 40X |
|
视野范围: |
Φ0.5mm @ 40X |
|
空间分辨率: |
0.6μm @ 40X |
|
相位测量分辨率 (RMS): |
50mrad |
|
相位测量波像差: |
0.05λ |
|
z 轴扫描精度: |
±1μm (0~1mm 行程),±3μm (1~22mm 行程) |
|
焦距*大测量范围: |
5mm |
|
标配光源: |
457nm、532nm、660nm 空间光连续激光器 |
|
入射平行光发散角: |
0.1° |
|
光源拓展接口: |
1 个 FC/APC 接口、1 个空间光接口 |
选配模块
型号 |
信息详情 |
|
偏振扩展: |
偏振扩展:支持实现入射 / 接收偏振加载,适配 4mm 厚度偏振片 |
|
定制服务: |
定制服务:支持其他激光波长扩展定制 |
典型应用领域
|
超构表面(Metasurface) |
微透镜阵列 (Microlens Array,MLA) |
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE) |
||
|
是一种由亚波长的微纳结构组成的平面结构,可以高自由度的对光波进行调控和操纵,因此超构表面的研究需要测量它所调控的光场分布和相位分布。 |
是由尺寸只有几十微米和数百微米的微型透镜构成的阵列,因此微透镜阵列的研究需要微米尺度的单透镜检测能力。 |
是基于光的衍射效应而设计的光学元件,核心是对光的相位进行调制,需要高分辨率的相位测量。 |
手机/微信:13682357549 13246646513 QQ:672776553 564600083 1903656788 Email:672776553@qq.com 564600083@qq.com