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  • 产品名称：CIQTEK 国仪量子 SEM5000X（G2） 高分辨扫描电子显微镜

  • 产品型号：
  • 产品厂商：CIQTEK国仪量子
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简单介绍：
CIQTEK 国仪量子 SEM5000X（G2） 高分辨扫描电子显微镜
详情介绍：

CIQTEK 国仪量子 SEM5000X（G2） 高分辨扫描电子显微镜




SEM5000X（G2）是一款超高分辨率场发射扫描电镜，电子光学镜筒设计优化，综合像差降低了 30%，从而达到了0.5 nm@15 kv和 0.9 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高稳定性，可在先进纳米结构和纳米材料的研究、**芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。





产品优势
超高分辨率成像，达到了突破性的0.5 nm@15 kV和0.9 nm@1 kV
样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景
高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响
*大支持8寸晶圆(*大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求
产品参数
关键参数

分辨率

0.5 nm @ 15 kV，SE
0.9 nm @ 1 kV，SE
加速电压 20 V ~ 35 kV
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
电子枪类型 肖特基场发射电子枪
样品室 摄像头

双摄像头

（光学导航+样品仓内监控）

样品台行程

X:130 mm，Y:130 mm，Z:65 mm

T: -10°~+70°，R: 360°

探测器和扩展 标配 镜筒内电子探测器（Inlens）
仓室内电子探测器（ETD）
选配 插入式背散射电子探测器（BSED)
插入式扫描透射探测器（STEM）
低真空二次电子探测器（LVD）
能谱仪（EDS）
背散射衍射（EBSD）
样品交换仓（4寸和8寸可选）
轨迹球&旋钮板
双减速技术（Duo-Dec）
软件 语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航，轨迹球（选配）
图像存储 TIFF、JPG、PNG、BMP可选
自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散





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