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  • 产品名称：CIQTEK 国仪量子 SEM5000XLV 高分辨扫描电子显微镜

  • 产品型号：
  • 产品厂商：CIQTEK国仪量子
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简单介绍：
CIQTEK 国仪量子 SEM5000XLV 高分辨扫描电子显微镜
详情介绍：

CIQTEK 国仪量子 SEM5000XLV 高分辨扫描电子显微镜





SEM5000XLV 兼顾高分辨成像与大束流分析，支持低真空模式与大束流模式快速切换。设备集成EDS与EBSD分析模块，满足电子束敏感样品的高效检测需求，为实验室提供微区分析与成分鉴定的解决方案。





电子光学

采用双聚光镜架构，实现电子束独立精准调控。**兼顾纳米级高分辨成像与大束流高效分析，**提升多维表征能力。

电子光学

超高分辨大束流分析

大束流结合高分辨率的扫描电镜，可在兼顾精细形貌观测与高效信号激发的前提下，广泛应用于半导体芯片微观缺陷检测、微电子器件表征、纳米材料形貌与成分同步分析、镀层 / 薄膜界面观测、生物大样本高倍成像，同时适配电子束曝光、微区元素快速面分布扫描、失效分析等场景，既能看清纳米级细微结构，又凭借大束流提升成像速度、增强二次电子与特征 X 射线信号强度，满足高精度、高效率的综合检测需求

*金标样/10 kV/15 nA/大束流高分辨

超高分辨大束流分析

扩展功能

能谱（EDS)

能谱（EDS)

低真空（EBSD）

低真空（EBSD）

阴极荧光（CL）

阴极荧光（CL）

产品参数

关键参数： 电子枪类型 肖特基场发射电子枪
分辨率 0.6 nm @ 15 kV, SE
1.0 nm @ 1 kV, SE
0.9 nm @ 1 kV, SE (样品台减速)
加速电压 20 V ~ 30 kV
放大倍率 1 ~ 2,500,000x
电子束流 1 pA~50 nA (100 nA可选)
位移台（大行程可选）： 位移台类型 五轴机械优中心位移台
探测器 镜筒内电子探测器(Inlens) ●
旁侧电子探测器 (ETD) ●
插入式背散射电子探测器 (BSED) ●
插入式扫描透射电子探测器 (STEM) ○
能谱仪 (EDS) ○
背散射衍射 (EBSD) ○
扩展 样品台减速模式 ○
低真空模式 ●
样品交换仓 ○
旋钮板&轨迹球 ○
*可接受微定制服务 ● 标配 ○ 选配
产品参数




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