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  • 产品名称：CIQTEK 国仪量子 DB550 双束显微镜

  • 产品型号：
  • 产品厂商：CIQTEK国仪量子
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简单介绍：
CIQTEK 国仪量子 DB550 双束显微镜
详情介绍：

CIQTEK 国仪量子 DB550 双束显微镜



DB550 是一款追求**产出效能的纳米分析工具。它采用低电压高分辨电子镜筒与超级减速方案， 在极低电压下仍能保持亚纳米级成像解析。 核心升级的新一代 “承影 2.0” 离子镜筒， 以更优的低压分辨率与大束流表现，优化纳米加工的速率。 集成式的硬件体系与智能软件算法， 为您打造优雅全能的微纳分析与加工中心， 显著提升产出效率





产品优势
高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品
“承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样
机械手采用集成控制方式，通过成像界面精准控制移动
自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，**的售后服务
技术介绍
"承影"离子镜筒
技术特点
分辨率：2.5 nm@30 kV
探针电流：1 pA~100 nA
加速电压范围：500 V~30 kV
使用寿命：≥1000小时
长时间稳定性：72小时不间断工作
纳米机械手
技术特点
三轴/四轴可选
集成式控制方式
离子束-电子束协同
气体注入器
独立的气体注入系统
多种气源可选
集成式控制方式



产品参数
电子束系统 电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪
分辨率

1.4 nm@1 kV，0.9 nm@15 kV

1.3 nm @ 1 kV（with TD），
1.2 nm@1.0 kV*

1.9 nm@200 V（with TD），
0.7 nm@15 kV*

加速电压 20 V ~ 30 kV
离子束系统 离子源类型 液态镓离子源
分辨率

2.5 nm@30 kV

100 nm@1 kV

加速电压 500 V ~ 30 kV
样品室 真空系统 全自动控制，无油真空系统
摄像头 三摄像头
（光学导航+样品仓内监控x2）
样品台类型 五轴机械优中心样品台
样品台行程 X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm
T: -38°~70°，R: 360° 连续可调
X=150 mm，Y=150 mm，Z=65 mm
T: -10°~70°，R: 360°（可选）
探测器和扩展 标配 镜筒内电子探测器(Inlens)
旁侧二次电子探测器（ETD）
选配 插入式背散射电子探测器（BSED）
插入式扫描透射探测器（STEM）
能谱仪（EDS）
背散射衍射（EBSD）
纳米机械手
气体注入器
等离子清洗
样品交换仓
轨迹球&旋钮控制板
软件 语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航
自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散





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