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  • 产品名称：CIQTEK 国仪量子 HEM6000 高速扫描电子显微镜

  • 产品型号：
  • 产品厂商：CIQTEK国仪量子
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简单介绍：
CIQTEK 国仪量子 HEM6000 高速扫描电子显微镜
详情介绍：

CIQTEK 国仪量子 HEM6000 高速扫描电子显微镜




HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。

采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。

面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。




产品优势
高速自动化
全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍
大场低畸变
跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变
低压高分辨
样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率
应用领域
半导体工业
生命科学
材料科学
地质科学
指标 HEM6000 常规场发射扫描电镜
像素尺寸(单张) 12288*12288
像素点时间 40 ns（点/行/帧平均数：2/2/1） 800 ns
像素大小 16 nm
拍摄总面积 2 .62mm²

拍摄总时间

21分34秒 >190分
产品参数
关键参数 分辨率 1.3nm@3 kV，SE ; 1.5nm@1 kV，SE
1.9nm@ 3 kV, BSE; 2.3nm@ 1 kV, BSE
0.9nm@30kV，STEM
加速电压 100 V~6 kV(减速模式)
6 kV~30 kV(非减速模式)
放大倍率 66~1,000,000x
电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪
物镜类型 浸没式电磁复合物镜
偏转系统 静电偏转器
样品装载系统 真空系统 全自动控制，无油真空系统
样品监控 样品仓监控水平摄像头； 换样仓监控垂直摄像头
样品*大尺寸 直径4英寸
样品台 类型 电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台）
行程

X、Y轴：110mm；

Z轴：16mm；

重复定位精度

X轴：±0.6μm；

Y轴：±0.3μm；

换样方式 全自动控制
换样时间 ＜15 min
换样仓清洗 全自动控制等离子清洗系统
图像采集与处理 驻点时间 10 ns/pixel
图像采集速度 2*100 M pixel/s
图像大小 24K*24K
探测器和扩展 标配 镜筒内混合电子探测器
选配 低角度背散射电子探测器
镜筒内高角度背散射电子探测器

明场透射电子探测器

高角/中角/底角暗场透射电子探测器
压电驱动样品台
高分辨大场模式
样品仓等离子清洗系统
6英寸样品装载系统
主动减震台
AI降噪；大图拼接；三维重构
软件 语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航
自动功能 自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散






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