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  • 产品名称:TUCSEN鑫图 Dhyana 9KTDI TDI相机

  • 产品型号:
  • 产品厂商:TUCSEN鑫图
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TUCSEN鑫图 Dhyana 9KTDI TDI相机
详情介绍:

TUCSEN鑫图 Dhyana 9KTDI TDI相机





高速TDI-sCMOS相机

  • 510 kHz @ 9K
  • 256 级TDI
  • 180 nm ~ 1100 nm
  • 风冷/水冷
  • CoaXPress 2.0

产品介绍

Dhyana 9KTDI(简称:9KTDI)背照式TDI 相机基于先进的sCMOS 背照式减薄和TDI 时间积分技术,采用可靠稳定的制冷封装技术,覆盖从180nm紫外到1100nm近红外宽光谱,有效提升紫外TDI线扫、弱光扫描检测能力,旨在为半导体晶圆缺陷检测、半导体材料缺陷检测、基因测序等应用提供更高效率、更稳定的检测支持。

  • 180nm-1100nm宽光谱

    Dhyana 9KTDI 采用背照式 sCMOS 技术,已验证的响应波段可覆盖180 nm - 1100 nm区域。256级 TDI技术可以大幅提升紫外(193nm/266nm/355nm等波段)、可见光、近红外等弱光成像信噪比,提高设备检测精度。

    180nm-1100nm宽光谱
  • 510kHz @ 9K 超高速线扫

    Dhyana 9KTDI搭载CXP-12高速接口,支持1 x CXP-12 / 2 x CXP-12 / 4 x CXP-12灵活配置。 相机行频*高可达9K @ 510 kHz,数据通量几乎是目前主流8K线阵相机的6倍,背照式 CCD-TDI 相机的46倍,可大幅提高设备检测效率。

    510kHz @ 9K 超高速线扫
  • 先进制冷降噪技术

    相机高速运行时产生的大量热量,不仅会影响成像质量,还会引起测量结果的波动。鑫图先进水冷和风冷技术,确保相机制冷性能即使长时间运行也能保持稳定状态,降低设备误检率。

    先进制冷降噪技术

技术参数 >

  • 型号:Dhyana 9KTDI
  • 传感器类型:BSI sCMOS TDI
  • 量子效率:38 % @ 266 nm,51% @ 355 nm,82 % @ 550 nm,38 % @ 800 nm
  • 彩色 / 黑白:黑白
  • 有效像素:9072 (H) x 256 (V)
  • *大线速度:299 kHz @ 12 bit, 345 kHz@ 10 bit, 510 kHz @ 8 bit
  • 像素尺寸:5 μm x 5 μm
  • 位深:12 bit, 10 bit, 8 bit
  • 读出噪声:典型值:6.2 e- @ 12 bit, 6.6 e- @ 10 bit
  • 触发模式:触发输入, 扫描方向输入
  • 触发输出:Strobe out
  • 数据接口:CoaxPress 2.0
  • 光学接口:M72 / 用户可定制
  • 电源功耗:12 V / 8 A,< 60 W
  • 制冷方式:风冷,水冷
  • 备注:如需了解更多产品技术参数,请下载产品技术规格书查看








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