高速TDI-sCMOS相机

600 kHz @ 9K
256 级TDI
180 nm ~ 1100 nm
风冷／水冷
CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+

产品介绍

Dhyana 9KTDI Pro（简称：D 9KTDI Pro）背照式TDI 相机基于先进的sCMOS 背照式减薄和TDI 时间积分技术，采用可靠稳定的制冷封装技术，覆盖从180 nm 紫外到1100 nm 近红外宽光谱，有效提升紫外TDI线扫、弱光扫描检测能力，旨在为半导体晶圆缺陷检测、半导体材料缺陷检测、基因测序等应用提供更高效率、更稳定的检测支持。

180nm-1100nm 宽光谱

Dhyana 9KTDI Pro 采用背照式 sCMOS 技术，已验证的响应波段可覆盖180 nm - 1100 nm区域。256级 TDI技术可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可见光、近红外等弱光成像信噪比，提高设备检测精度。
600 kHz @ 9K 超高速线扫

Dhyana 9KTDI Pro 配备CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ 高速接口，其传输效率相当于背照式 CCD-TDI 相机的54倍，显著提升设备的检测效率。Dhyana 9KTDI Pro的相机行频*高可达 9K @ 600 kHz，为行业提供快速的多级TDI线扫描解决方案。
稳定可靠制冷降噪技术

**挑战性检测应用中，对缺陷的检测要求非常高，即使是1~2DN的灰阶抖动都会影响检测结果。鑫图的制冷技术经过市场的长期验证，不仅能够对感光芯片实行精准的低温控制，还能使相机在长时间工作中保持±0.5℃恒定状态。如图所示，鑫图相机制冷后具有更均一的成像背景和更低的噪声水平，可以为高精度缺陷检测提供更精准可靠的数据支撑。

技术参数 >

型号:Dhyana 9KTDI Pro
传感器类型:BSI sCMOS TDI
量子效率:82% @ 550 nm, 50% @ 350 nm, 38% @ 800 nm
彩色 / 黑白:黑白
光谱范围:180nm-1100nm
有效像素:9072 ( H ) x 256 ( V )
*大线速:299 kHZ @ 12 bit, 600 kHZ @ 10 bit, 600 kHZ @ 8 bit
像素尺寸:5 µm x 5 µm
位深:12 bit, 10 bit, 8 bit
读出噪声:6.2 e- @ 12 bit, 10.5 e- @ 10 bit
触发模式:触发输入, 扫描方向输入
触发输出:Strobe out
数据接口:QSFP+
光学接口:M72 / 用户定制
电源功耗:12 V / 8 A，< 75 W
制冷方式:风冷，水冷
备注:如需了解更多产品技术参数，请下载产品技术规格书查看

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产品名称：TUCSEN鑫图 Dhyana 9KTDI Pro TDI相机

高速TDI-sCMOS相机

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180nm-1100nm 宽光谱

600 kHz @ 9K 超高速线扫

稳定可靠制冷降噪技术

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