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  • 产品名称：Zolix 卓立汉光 SH30.xyz.0 /.C 负载压电扫描台

  • 产品型号：
  • 产品厂商：Zolix卓立汉光
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简单介绍：
Zolix 卓立汉光 SH30.xyz.0 /.C 负载压电扫描台
详情介绍：


zolix卓立汉光  SH30.xyz.0 /.C  负载压电扫描台

特点：

• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x15 um

• 外形尺寸，160mmx160 mmx 35 mm

• 闭环分辨率优于0.3nm

• *大负载 10 kg

• 支持高真空 (HV)和超高真空(UHV) 选件升级


选型表

型号

SH30.xyz.0 /.C

运动方向

X ,Y ,Z 方向

底面尺寸×高度（mm）

160×160×35

主体材料

不锈钢

自重（g）

4000

运动行程（um）

30×30×15

运动分辨率（nm）

0.1(开环) 0.3(闭环)

运动可重复精度（闭环）（nm）

<3

偏摆角度（urad）

20/ 20 / 50

共振频率 (空载)（Hz）

50

*大负载（kg）

10

闭环传感器（闭环版本）

电容式

驱动电压（V）

150

推荐使用温度

-20 ~ 80 °C


亚纳米高负载压电扫描台SH30.xyz.C系列尺寸图






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