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CIQTEK 国仪量子 SEM4000X 高性能扫描电子显微镜
SEM4000X(G2)扫描电镜作为微区分析检测场景的理想选择,在保证稳定运行与便捷操作的基础上,通过集成了多探测器系统与样品减速功能,突破低加速电压下的分辨率限制。在兼顾性能可靠性与使用成本的前提下,为现代材料分析实验室提供可靠的解决方案
探测器系统
多探测器系统
突破单一信号局限,可实现形貌与成分衬度同屏呈现,帮助用户在单次观测中获取样品的表面结构与材料成分分布特征。
插入式背散射电子探测器
均匀抛光的多晶材料中,背散射电子强度由电子束与晶面取向决定,取向差越大晶粒越亮,可表征晶粒取向分布。
镜筒内电子探测器 (Inlens)
SBA-15分子筛/500 V/未喷金/样品台减速
仓室内二次电子探测器 (ETD)
BN陶瓷纳米片,利用ETD探测器表征片层结构。
插入式扫描透射电子探测器 (STEM)
应用案例
电子半导体
在半导体行业内,制程工艺会伴随各种微观缺陷,为了保障芯片的高良率,会引入专业的微观表征设备进行检测,其中利用扫描电镜进行高分辨形貌分析是不可或缺的排查手段。
SEM4000X/芯片封装截面/10 kV/BSED
SEM4000X/BONDING球/10 kV/BSED
锂电池/新能源材料
在新能源与锂电池制造中,材料的微观缺陷极易引发热失控,为了保障电芯的****与性能,需要利用扫描电镜进行正负极材料和隔膜材料的检测。
SEM4000X/负极材料/5 kV/BSED
SEM4000X/锂电材料/1 kV/ETD
高分子材料
在高分子材料研发与改性中,微观形貌与断口结构直接决定性能,为了探究其内在机理,利用扫描电镜进行低电压形貌观察是非常重要的表征方法。
SEM4000X/纳米纤维/5 kV/ETD
SEM4000X/冷冻传输水凝胶/2 kV/MIX
生命科学
在生命科学中,组织形态与成分的微观结构直接关乎生理演变。借助扫描电镜可深度还原生物样品的微观形貌。
SEM4000X/脑组织半薄切片500nm/2 kV/BSED
SEM4000X/硅藻/5 kV/ETD
金属材料
在金属材料研发与制造中,零部件常遭遇疲劳或腐蚀失效,为了探究其根本原因,需要借助专业的显微结构表征设备进行检测,其中扫描电镜是极为重要的设备之一。
SEM4000X/金属涂层/2 kV/MIX
SEM4000X/金属断口/10 kV/ETD
功能材料与新材料
在功能与新材料的研发中,微观形貌与特殊结构直接决定其*终性能。扫描电镜作为专业表征工具,可以很好的对新材料的微观形貌表征。
SEM4000X/硅球/3 kV/MIX
SEM4000X/陶瓷粉末/1 kV/MIX
产品参数
| 关键参数: | 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 |
| 分辨率 | 0.7 nm @ 15 kV | |
| 1.1 nm @ 1 kV | ||
| 1.9 nm @ 500 V | ||
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 2,500,000x | |
| 位移台(大行程可选): | 位移台类型 | 五轴机械优中心位移台 |
| 探测器 | 镜筒内电子探测器(Inlens) | ● |
| 旁侧电子探测器 (ETD) | ● | |
| 插入式背散射电子探测器 (BSED) | ○ | |
| 插入式扫描透射电子探测器 (STEM) | ○ | |
| 能谱仪 (EDS) | ○ | |
| 背散射衍射 (EBSD) | ○ | |
| 扩展 | 样品台减速模式 | ○ |
| 低真空模式 | ○ | |
| 样品交换仓 | ○ | |
| 旋钮板&轨迹球 | ○ | |
| 样品台 | 五轴优中心马达驱动样品台 | X方向:110mm,Y方向:110mm,Z方向:65mm,T:-10~70°(倾斜),R=360°(旋转) |
| *可接受微定制服务 | ● 标配 ○ 选配 |
手机/微信:13682357549 13246646513 QQ:672776553 564600083 1903656788 Email:672776553@qq.com 564600083@qq.com