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  • 产品名称：CIQTEK 国仪量子 SEM5000Pro 高分辨扫描电子显微镜

  • 产品型号：
  • 产品厂商：CIQTEK国仪量子
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简单介绍：
CIQTEK 国仪量子 SEM5000Pro 高分辨扫描电子显微镜
详情介绍：

CIQTEK 国仪量子 SEM5000Pro 高分辨扫描电子显微镜




SEM5000Pro（G2）场发射扫描电镜以稳定可靠，易用增效为核心设计理念，致 力于让各类实验室拥有场发射级的观测能力。设备集优异的超高分辨率与长期运行的稳定性于一体，无论是在先进纳米材料的微观结构表征，还是在**半导体的研发与制造中，均能稳定提供高质量的成像数据，充分满足科研机构与工业质检平台的应用需求。





电子光学

优化镜筒设计，色差降低12%，球差降低20%，综合像差锐减30%，显著提升了呈现样品微观细节的能力，为客户还原高保真的真实微观形貌，确保精密表征与尺寸量测的准确性。

电子光学

高分辨率成像

扫描电镜中的双减速系统（也称为串联减速技术，Tandem Decel）是一种先进的电子束能量控制技术，它将镜筒内减速和样品台偏压减速两种方式相结合，解决了传统低电压成像中 "分辨率下降" 与 "荷电效应 / 样品损伤" 之间的矛盾，实现了极低电压下的高分辨率成像。

SBA-15分子筛/500 V/未喷金/样品台减速

高分辨率成像

镜筒内减速系统

使用镜筒内电子探测器，200 V低压下实现对干法隔膜，实现结构的形貌表征。

镜筒内减速系统

双减速系统

镜筒内减速+样品台减速 使用镜筒内电子探测器，200 V低压下对湿法隔膜，不喷金实现结构的形貌表征。

双减速系统

自动拍样



产品参数

关键参数： 电子枪类型 肖特基场发射电子枪
分辨率 0.6 nm @ 15 kV, SE
1.0 nm @ 1 kV, SE
0.9 nm @ 1 kV, SE (样品台减速)
加速电压 20 V ~ 30 kV
放大倍率 1 ~ 2,500,000x
位移台（大行程可选）： 位移台类型 五轴机械优中心位移台
探测器 镜筒内电子探测器(Inlens) ●
旁侧电子探测器 (ETD) ●
插入式背散射电子探测器 (BSED) ○
插入式扫描透射电子探测器 (STEM) ○
能谱仪 (EDS) ○
背散射衍射 (EBSD) ○
扩展 样品台减速模式 ○
低真空模式 ○
样品交换仓 ○
旋钮板&轨迹球 ○
*可接受微定制服务 ● 标配 ○ 选配
产品参数




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