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  • 产品名称：CIQTEK 国仪量子 DB560 双束显微镜

  • 产品型号：
  • 产品厂商：CIQTEK国仪量子
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简单介绍：
CIQTEK 国仪量子 DB560 双束显微镜
详情介绍：

CIQTEK 国仪量子 DB560 双束显微镜




DB560是一款优雅全能的纳米分析和制样工具，低电压高分辨的电子镜筒，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒提供了高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器，一体化设计的控制软件，为您打造全能纳米分析和加工中心。





产品优势
高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品
“承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样
样品仓内压电陶瓷驱动的机械手，集成式控制方式，操作精准到位
自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，**的售后服务
技术介绍
"承影"离子镜筒
技术特点
分辨率：3 nm@30 kV                 120 nm@1 kV
探针电流：1 pA~100 nA
加速电压范围：500 V~30 kV
使用寿命：≥1000小时
长时间稳定性：72小时不间断工作
纳米机械手
技术特点
仓内安装方式
全压电驱动
编码精度≤10nm
*大移动速度2mm/s
集成式控制方式
离子束-电子束协同
产品参数
电子束系统 电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪
分辨率 0.9 nm@15 kV
加速电压 20 V ~ 30 kV
离子束系统 离子源类型 液态镓离子源
分辨率

3 nm@30 kV

≤120nm @ 1kV
加速电压 500 V ~ 30 kV
样品室 真空系统 全自动控制，无油真空系统
摄像头 三摄像头
（光学导航+样品仓内监控x2）
样品台类型 五轴机械优中心样品台
样品台行程 X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm
T: -10°~+70°，R: 360°
探测器和扩展 标配 镜筒内电子探测器(Inlens)
旁侧二次电子探测器（ETD）
选配 插入式背散射电子探测器（BSED）
插入式扫描透射探测器（STEM）
能谱仪（EDS）
背散射衍射（EBSD）
纳米机械手
气体注入器
等离子清洗
样品交换仓
轨迹球&旋钮控制板
软件 语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航
自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
气体注入器
单气体注入
多种气源可选
伸缩距离≥35 mm
重复定位精度≤10 um
加热温度控制精度≤0.1℃
加热温度范围：室温~90℃
集成式控制方式






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